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流量检测法,采用瞬时损失流量的方法对被测产品进行密封性测试。主要泄漏检测原理就是传感器直接检测产品的泄露速率,并实时显示出来,可以基本上省去原来测压力泄露测试法中的泄露测试累积时间,此产品泄露测试速度快,可直接显示泄漏单位,适用于对测试效率有要求的产品。流量测量的测量信号与测试容积无关,不同于压力测量中测量信号随着测试容积的增大而减小。这在标定时是个优点,测量信号直接对应于通过泄漏标定仪的气体流量,标定过程中不再需要知道确切的测试容积,也不用考虑确定泄漏率。体积流量法,一般不用于泄漏检测而是用于流量控制中,如在用同样的测量元件(差压传感器)进行降压法泄漏测试前,对气体系统中的自由通道进行流量监控。在质量流量检测法中,测试信号不仅与测试容积无关且与测试压力也无关,而是直接对应于标准泄漏率Std cm3/min,不同于压降法测量中要计算允许泄漏率。
体积流量法,一般不用于泄漏检测而是用于流量控制中,如在用同样的测量元件(差压传感器)进行降压法泄漏测试前,对气体系统中的自由通道进行流量监控。