电真空器件进行气密性检测时的注意事项

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1、温度

环境温度对漏孔的漏率有很大的影响，工件温度与室内温度一致时进行检漏效果较佳。温度对于漏孔几何尺寸和气体特性的影响都将改变漏率大小。漏孔通道的几何尺寸会随温度变化，同一个漏孔在不同的温度下，其漏率值是不一样的。按国家标准GB/T12604.7-1995规定，标准漏率的温度是25℃，否则，真空技术网(http://www.chvacuum.com/)认为就应该对漏率值作相应修正，公式如下：

Q=Q1T/T1(12)

式中：T是标准漏率规定的温度(25℃所对应热力学温度)，T1是被检件的实际检测热力学温度，Q是被检件的标准漏率，Q1是被检件在T1时的漏率。

2、临时密封污染

被检件与辅助模具、检漏仪连接处，一般采用真空橡胶垫、橡胶圈、橡胶管、橡胶塞、酒精、真空封泥等进行密封处理。检漏过程中，零部件需要多次与真空封泥接触。真空封泥虽然可以被汽油溶解，但仍会有少量封泥进入被检件，如密封狭小腔体，不易发现和取出，成为潜在放气源，严重影响电真空器件的性能。酒精、汽油在高温下分解成CO2、CO、CH4、H2和水蒸汽，其化合生成的有机物也是污染源。因此，检漏完毕后一定要彻底检查清理被检件。

3、材料的吸附

真空管道、阀门、橡胶密封件属于吸气材料，使用时间越长，氦气等杂质气体吸附越多，检漏时被吸入质谱室会产生表面沉积物等污染，导致氦本底过高，仪器不稳定，达不到检漏精度要求易造成漏检。因此，需经常进行除氦处理，清洗质谱室表面。

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